Calibrage de microphones MEMs pour usage industriel multicapteurs
Auteur :
PICARD, C. ; LAMOTTE, L. ; LABOURE, V. ; LE MAGUERESSE, T.
Auteur moral :
Année de parution :
2018
Résumé :
La démocratisation des technologies numériques, portée par le secteur des Technologies de l’Information et de la Communication (TIC), offre de nouvelles possibilités pour la métrologie acoustique. C’est en particulier le cas pour toutes les méthodes nécessitant le déploiement d’un grand nombre de microphones (mesure de voie de transfert, imagerie acoustique...). Les technologies de microphone MEMS1 et de l’électronique embarquée (processeur ARM FPGA) permettent de répondre autrement à ces besoins métrologiques acoustiques : pouvoir augmenter les performances de ces techniques tout en réduisant leur coût de mise en œuvre. Toutefois, l’intégration de ces technologies qui ne sont pas destinées à la métrologie nécessite une étape fine et rigoureuse de calibrage pour déterminer et corriger la réponse en fréquence intrinsèque du microphone MEMS soudé sur une carte électronique (PCB2). Cet article décrit la mise en œuvre d’une calibration locale d’un microphone MEMS et l’intégration d’un filtre correcteur associé à la réponse en fréquence estimée. Il s’agit dans un premier temps de définir un protocole expérimental pour mesurer la réponse du capteur MEMS sur sa plage de fréquence de fonctionnement en travaillant sur toute la chaîne d’excitation. Puis dans un second temps, la mise au point d’un filtre assurant la compensation de la réponse en fréquence, de préférence en temps réel afin de l’implémenter au plus proche du capteur, est détaillée. L’étude vise à valider le protocole exposé dans cet article et à évaluer la possibilité d’en faire un capteur fiable pour la mesure acoustique.
ISBN :
Thématique(s) :
Acoustique physique, Équipements, technologies et recherche
